本发明公开了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,由基座、运动平台、压电陶瓷驱动器、位移放大机构及导向机构等部分组成。第一、第二压电陶瓷驱动器相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内,驱动器的输出端紧靠在位移放大机构的输入铰链上,经位移放大机构和导向机构将运动传递给运动平台。本发明采用二级放大机构和复合平行四杆导向机构,使得微动平台结构紧凑,能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率,X轴方向和Y轴方向能够有效解耦,压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦,无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。运动平台在X轴、Y轴方向上均设有位移传感器,便于实现微动平台的全闭环控制。
1.一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,它包括基座、运动平台,基座上设有导向机构和位移放大机构,所述运动平台的四个角分别与导向机构铰接,与基座无接触;所述运动平台的Y轴、X轴方向上分别设有第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器,第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器分别垂直的放置在基座上各自的圆柱形槽内,第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器的一端分别用定位螺钉固定,另一端作为输出端分别作用在位移放大机构的输入铰链上,位移放大机构均与导向机构铰接,所述运动平台的X轴、Y轴方向上分别设有位移传感器;xa0所述导向机构为由八根杆组成的复合平行四杆导向机构,其中,导向机构第一根杆和导向机构第二根杆的一端均与运动平台通过柔性铰链连接,另一端均通过柔性铰链与Y轴方向上的位移放大机构连接,导向机构第三根杆和导向机构第四根杆的一端均与运动平台通过柔性铰链连接,另一端均通过柔性铰链与X轴方向上的位移放大机构连接,导向机构第五根杆、导向机构第六根杆、导向机构第七根杆、导向机构第八根杆的一端均通过柔性铰链与运动平台连接,另一端通过柔性铰链分别与铰支在基座上的第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆连接。xa0
2.如权利要求1所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述位移放大机构包括结构对称的X轴方向放大机构和Y轴方向放大机构,X轴方向放大机构包括结构对称且并联的第三放大机构和第四放大机构,Y轴方向放大机构包括结构对称且并联的第一放大机构和第二放大机构,第一放大机构、第二放大机构、第三放大机构和第四放大机构的输出铰链均与导向机构铰接,所述第一放大机构和第二放大机构的输入铰链均与第一压电陶瓷驱动器的输出端相互作用,所述第三放大机构和第四放大机构的输入铰链均与第二压电陶瓷驱动器的输出端相互作用。xa0
3.如权利要求1所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述位移传感器为直线光栅,包括直线光栅尺、光栅读数头和读数头固定支架,所述直线光栅尺分别贴在运动平台的两个相邻侧面上,X轴方向的直线光栅尺为第二直线光栅尺,Y轴方向的直线光栅尺为第一直线光栅尺,所述第一直线光栅的第一直线光栅读数头和第二直线光栅的第二直线光栅读数头分别安装在第一读数头固定支架和第二读数头固定支架上,第一直线光栅和第二直线光栅的信号电缆分别从第一直线光栅读数头和第二直线光栅读数头接出,所述每个信号电缆通过相应的直线光栅电缆槽引出。xa0
4.如权利要求2所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述第一放大机构包括第一放大机构第一级放大杠杆、第一放大机构连杆和第一放大机构第二级放大杠杆,xa0第一放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第一压电陶瓷驱动器相互作用,第一放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第一放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第一放大机构连杆的一端连接,第一放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第一放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第一放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第一放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。xa0
5.如权利要求2所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述第二放大机构包括第二放大机构第一级放大杠杆、第二放大机构连杆和第二放大机构第二级放大杠杆,第二放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第一压电陶瓷驱动器相互作用,第二放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第二放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第二放大机构连杆的一端连接,第二放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第二放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第二放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第二放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。xa0
6.如权利要求2所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述第三放大机构包括第三放大机构第一级放大杠杆、第三放大机构连杆和第三放大机构第二级放大杠杆,第三放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第二压电陶瓷驱动器相互作用,第三放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第三放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第三放大机构连杆的一端连接,第三放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第三放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第三放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第三放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。xa0
7.如权利要求2所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述第四放大机构包括第四放大机构第一级放大杠杆、第四放大机构连杆和第四放大机构第二级放大杠杆,第四放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第二压电陶瓷驱动器相互作用,第四放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第四放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第四放大机构连杆的一端连接,第四放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第四放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第四放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第四放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。xa0
8.如权利要求1或2所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器的两端均固定有推力半球。xa0
9.如权利要求1所述一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其特征是,所述基座上还设有压电陶瓷信号线出口,所述基座上端设有微动平台端盖,微动平台端盖通过螺栓与基座xa0连接。xa0技术领域
本发明涉及一种二维并联微动平台,尤其涉及一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台。
背景技术
近年来,随着科学技术和工业技术的不断进步,微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展,迫切需要能够在纳米级精度上进行定位和操作的系统和装备。在这些领域中,具有纳米精度的微动平台是其核心部件,其研究倍受国内外学者的青睐。传统的机械结构,如电机、齿轮、铰链等由于受到装配及运动间隙、摩擦、阻尼等因素的影响,无法达到纳米精度,而以压电陶瓷作为驱动器,以柔性铰链作为弹性导轨的微位移平台,由于具有无摩擦、无反向间隙、超高分辨率、易于控制和结构紧凑等优点,广泛应用于具有纳米精度的微动平台。在目前,商业上常用的二自由度微动平台大多采用两个一维的运动平台垂直叠加在一起或者以串联的方式将某一方向的运动平台嵌套在另外一个方向平台内,实现二维运动。但采用这种连接方式的二维微动平台因为叠加而产生累积误差、寄生位移、固有频率降低及两个方向动态特性不同且体积较大等缺点。现有的一些二维并联平台,一般具有较小的运动范围(一般小于100um),行程较大的微定位平台却普遍存在一阶固有频率较低(一般在250Hz)以下。中国专利CN102324253B提出了一种基于压电陶瓷驱动器驱动的并联微定位平台及微定位平台系统,该微定位平台采用并联结构,由三个压电陶瓷驱动器驱动,并且采用四个由柔性铰链组成的二级杆组作为解耦机构,使得平台能有效提高输出直线度,消除位移耦合,提高定位精度,解耦方便,易于控制。但由于受到体积的限制,压电陶瓷驱动器的行程较小,该平台结构中无位移放大机构,因此微动平台的运动范围很小,无法满足大行程的精密定位要求。中国专利CN101887761A提出了一种两自由度微动定位平台,该平台采用杠杆放大机构和复合平行四杆导向机构,使得平台X方向和Y方向的运动有效解耦,结构紧凑,体积较小,压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦,无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。但该平台的最大输出位移为120um×120um,平台运动范围较小,并且复合平行四杆导向机构对称的铰接在平台运动部分的四个侧面,限制了位移传感器的安装。中国专利CN101738855A提出了一种二自由度柔性微定位工作台,该工作台采用柔性并联结构,采用但自由度柔性铰链作为传动机构,使得工作台结构紧凑,刚度高,无机械摩擦,无运动间隙,利于实现微纳米级高精度定位。但该工作台结构不对称,当只驱动某一自由度上的驱动器时,工作台运动部分由于受力不均匀易产生偏转,产生寄生位移,影响工作台运动精度,并且工作台的运动范围较小。中国专利CN101862966A提出了一种二自由度平动并联解耦微动平台,该平台采用复合双平行直板铰链结构和对称约束结构,从而使得平台具有较大位移,有效消除了轴间输出耦合的位移、累积误差以及工作平台旋转等寄生位移的产生,保证了运动平台的二自由度平动,同时也增加了结构的刚度、承载能力。但该平台采用直板铰链,虽然易于加工和增大工作行程,但降低了运动的精度和固有频率,并且平台整体尺寸较大,结构不够紧凑,限制了位移传感器的安装。鉴于上述市场中及以往专利中提出的微动平台存在的一些问题,因此有必要设计一种新的高精密微动平台,在保持平台定位和操作精度高、响应速度快、高固有频率等优点及不增加定位平台控制算法难度的同时,增大平台工作行程,并从机电一体化角度对微动平台进行创新和优化。
发明内容
本发明的目的就是为了解决上述问题,提供一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,它具有结构合理、性能优越、不仅能够实验较大行程的精密定位,而且能够消除耦合和寄生位移,保证该微动平台具有较高的固有频率,并且结构紧凑,体积小,精度高,响应速度快的优点。为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,它包括基座、运动平台,基座上设有导向机构和位移放大机构,所述运动平台的四个角分别与导向机构铰接,与基座无接触;所述运动平台的Y、X方向上分别设有第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器,第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器分别垂直的放置在基座上各自的圆柱形槽内,第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器的一端分别用定位螺钉固定,另一端作为输出端分别作用在位移放大机构的输入铰链上,位移放大机构均与导向机构铰接,所述运动平台的X轴、Y轴方向上分别设有位移传感器。所述导向机构为由八根杆组成的复合平行四杆导向机构,通过双倍的连杆形成对称结构,其中,导向机构第一根杆和导向机构第二根杆的一端均与运动平台通过柔性铰链连接,另一端均通过柔性铰链与Y方向上的位移放大机构连接,导向机构第三根杆和导向机构第四根杆的一端均与运动平台通过柔性铰链连接,另一端均通过柔性铰链与X方向上的位移放大机构连接,导向机构第五根杆、导向机构第六根杆、导向机构第七根杆、导向机构第八根杆的一端均通过柔性铰链与运动平台连接,另一端通过柔性铰链分别与铰支在基座上的第一连杆、第二连杆、第三连杆、第四连杆连接。所述位移放大机构包括结构对称的X方向放大机构和Y方向放大机构,X方向放大机构包括结构对称且并联的第三放大机构和第四放大机构,Y方向放大机构包括结构对称且并联的第一放大机构和第二放大机构,第一放大机构、第二放大机构、第三放大机构和第四放大机构的输出铰链均与导向机构铰接,所述第一放大机构和第二放大机构的输入铰链均与第一压电陶瓷驱动器的输出端相互作用,所述第三放大机构和第四放大机构的输入铰链均与第二压电陶瓷驱动器的输出端相互作用。所述位移传感器为直线光栅,包括直线光栅尺、直线光栅读数头和读数头固定支架,所述直线光栅尺分别帖在运动平台的两个相邻侧面上,X方向的直线光栅尺为第二直线光栅尺,Y方向的直线光栅尺为第一直线光栅尺,所述第一直线光栅的第一直线光栅读数头和第二直线光栅的第二直线光栅读数头分别安装在第一读数头固定支架和第二读数头固定支架上,第一直线光栅和第二直线光栅的信号电缆分别从第一直线光栅读数头和第二直线光栅读数头接出,所述每个信号电缆通过相应的直线光栅电缆槽引出。所述第一放大机构包括第一放大机构第一级放大杠杆、第一放大机构连杆和第一放大机构第二级放大杠杆,第一放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第一压电陶瓷驱动器相互作用,第一放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第一放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第一放大机构连杆的一端连接,第一放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第一放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第一放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第一放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。所述第二放大机构包括第二放大机构第一级放大杠杆、第二放大机构连杆和第二放大机构第二级放大杠杆,第二放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第一压电陶瓷驱动器相互作用,第二放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第二放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第二放大机构连杆的一端连接,第二放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第二放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第二放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第二放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。所述第三放大机构包括第三放大机构第一级放大杠杆、第三放大机构连杆和第三放大机构第二级放大杠杆,第三放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第二压电陶瓷驱动器相互作用,第三放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第三放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第三放大机构连杆的一端连接,第三放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第三放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第三放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第三放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。所述第四放大机构包括第四放大机构第一级放大杠杆、第四放大机构连杆和第四放大机构第二级放大杠杆,第四放大机构第一级放大杠杆的输入铰链与第二压电陶瓷驱动器相互作用,第四放大机构第一放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第四放大机构第一级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与第四放大机构连杆的一端连接,第四放大机构连杆的另一端通过柔性铰链与第四放大机构第二级放大杠杆的输入端铰接,第四放大机构第二级放大杠杆的支点通过柔性铰链与基座铰接,第四放大机构第二级放大杠杆的输出端通过柔性铰链与导向机构连接。所述第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器的两端均固定有推力半球。所述基座上还设有压电陶瓷信号线出口。所述基座上端设有微动平台端盖,微动平台端盖通过螺栓与基座连接。本发明的有益效果:1、本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台采用并联结构且XY方向上结构对称,保证两个方向上动力学特性相同,具有刚度高、惯量低、承载能力高、精度高、无累积误差、结构紧凑、体积小等优点。2、本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的放大机构采用两级放大,实现了运动平台的大行程精密定位,运动平台的最大位移为200um。3、本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台采用复合平行四杆导向机构,通过双倍的连杆行程对称结构,从而有效消除了轴间输出耦合的位移、累积误差以及运动平台旋转等寄生位移的产生,保证了运动平台二自由度平动,同时增加了结构的刚度、承载能力和一阶固有频率。4、本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,其柔性机构可以利用线切割一体化加工技术整体加工而成,依靠柔性铰链的弹性变形传动运动,不需要装配,无间隙,无摩擦,不需要润滑,易于实现纳米级高精度定位。5、本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台中所有的柔性铰链具有相同的结构和尺寸,使得微动平台结构简单,易于加工。
附图说明
图1为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的内部结构示意图;图2为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的内部结构立体结构图;图3为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的外形结构图;图4为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的机构原理图;图5为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的圆弧形柔性铰链结构图。图中:1基座,2运动平台,3导向机构第一根杆,4第一放大机构第二级放大杠杆,5第一放大机构连杆,6第一放大机构第一级放大杠杆,7第一压电陶瓷驱动器,8第一推力半球,9第一定位螺钉,10第一位移输入杆,11第二放大机构第一级放大杠杆,12第二放大机构连杆,13第二放大机构第二级放大杠杆,14导向机构第二根杆,15压电陶瓷信号线槽,16导向机构第三根杆,17第三放大机构第二级放大杠杆,18第三放大机构连杆,19第三放大机构第一级放大杠杆,20第二压电陶瓷驱动器,21第二推力半球,22第二定位螺钉,23第二位移输入杆,24第四放大机构第一级放大杠杆,25第四放大机构连杆,26第四放大机构第二级放大杠杆,27导向机构第四根杆,28导向机构第五根杆,29第一连杆,30第一直线光栅读数头,31第一读数头固定支架,32第一直线光栅尺,33第二连杆,34导向机构第六根杆,35导向机构第七根杆,36第三连杆,37第二直线光栅读数头,38第二读数头固定支架,39第二直线光栅尺,40直线光栅电缆槽,41第四连杆,42导向机构第八根杆,43微动平台固定孔,44压电陶瓷信号线出口,45微动平台端盖。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明作进一步说明。图1压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的内部结构示意图。本发明采用并联结构,由基座1、运动平台2、第一压电陶瓷驱动器7、第二压电陶瓷驱动器20、位移放大机构、导向机构及位移传感器组成。第一压电陶瓷驱动器7和第二压电陶瓷驱动器20相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内,第一压电陶瓷驱动器7、第二压电陶瓷驱动器20的两端分别通过半圆球形的第一推力半球8、第二推力半球21与其他部件连接,第一压电陶瓷驱动器7、第二压电陶瓷驱动器20的一端分别通过第一定位螺钉9、第二定位螺钉22固定,另一端作为输出端,分别通过位移放大机构及导向机构将压电陶瓷的运动传递给运动平台2。第一压电陶瓷驱动器7的输出端通过第一推力半球8紧靠在第一位移输入杆10上,第一位移输入杆10通过柔性铰链同第一放大机构第一级放大杠杆6、第二放大机构第一级放大杠杆11连接。Y方向放大机构由相互对称的第一放大机构和第二放大机构两部分组成,第一放大机构由第一放大机构第一级放大杠杆6,第一放大机构连杆5,第一放大机构第二级放大杠杆4组成,其中第一放大机构第一级放大杠杆6的支点通过柔性铰链与基座1铰接,其输出端通过柔性铰链与第一放大机构连杆5的一端连接,第一放大机构连杆5的另一端通过柔性铰链与第一放大机构第二级放大杠杆4连接,第一放大机构第二级放大杠杆4的支点通过柔性铰链与基座1铰接,其输出端通过柔性铰链与导向机构第一根杆3连接。第二放大机构与第一放大机构结构完全相同,由第二放大机构第一级放大杠杆11、第二放大机构连杆12及第二放大机构第二级放大杠杆13通过柔性铰链相互铰接,并且第二放大机构第一级放大杠杆11和第二放大机构第二级放大杠杆13的支点均通过柔性铰链与基座1铰接,第二放大机构第二级放大杠杆13的输出端通过柔性铰链与导向机构第二根杆14连接。导向机构第一根杆3和导向机构第二根杆14均通过柔性铰链与运动平台2连接,从而推动运动平台2完成Y方向的运动。第二压电陶瓷驱动器20的输出端通过第二推力半球21紧靠在第二位移输入杆23上,第二位移输入杆21通过柔性铰链同第三放大机构第一级放大杠杆19、第四放大机构第一级放大杠杆24连接。X方向位移放大机构与Y方向位移放大机构相互对称,由相互对称的第三放大机构和第四放大机构两部分组成。第三放大机构由第三放大机构第一级放大杠杆19、第三放大机构连杆18、第三放大机构第二级放大杠杆17通过柔性铰链铰接组成,其中第三放大机构第一级放大杠杆19、第三放大机构第二级放大杠杆17的支点通过柔性铰链与基座1铰接,第三放大机构第二级放大杠杆17输出端与导向机构第三根杆16通过柔性铰链连接。第四放大机构由第四放大机构第一级放大杠杆24、第四放大机构连杆25、第四放大机构第二级放大杠杆26通过柔性铰链铰接组成,其中第四放大机构第一级放大杠杆24、第四放大机构第二级放大杠杆26的支点通过柔性铰链与基座1铰接,第四放大机构第二级放大杠杆26输出端通过柔性铰链与导向机构第四根杆27连接。导向机构第三根杆16和导向机构第四根杆27均通过柔性铰链与运动平台2铰接,从而推动运动平台2完成X方向的运动。导向机构为复合平行四杆导向机构,由导向机构第一根杆3、导向机构第二根杆14、导向机构第三根杆16、导向机构第四根杆27、导向机构第五根杆28、导向机构第六根杆34、导向机构第七根杆35、导向机构第八根杆42八根杆组成,对称地分布在运动平台2的四个角上,并且通过柔性铰链与运动平台2连接。其中,导向机构第一根杆3、导向机构第二根杆14、导向机构第三根杆16、导向机构第四根杆27分别通过柔性铰链与第一放大机构第二级放大杠杆4、第二放大机构第二级放大杠杆13、第三放大机构第二级放大杠杆17、第四放大机构第二级放大杠杆26连接,导向机构第五根杆28、导向机构第六根杆34、导向机构第七根杆35、导向机构第八根杆42分别通过柔性铰链与同基座1铰接的第一连杆29、第二连杆33、第三连杆36、第四连杆41连接。完全对称的导向机构,既避免了寄生运动的产生,又实现了XY两个方向上运动的完全解耦。X方向位移传感器与Y方向位移传感器均采用直线光栅,由直线光栅尺、读数头和读数头固定支架三部分组成。第一直线光栅尺32和第二直线光栅尺39分别贴在运动平台2的两个侧面上,第一直线光栅读数头30和第二直线光栅读数头37分别通过第一读数头固定支架31和第二读数头固定支架38固定在基座上,输出信号通过与读数头相连的信号电缆反馈给计算机。图2为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的内部结构立体结构图,由图可以清楚地看出本发明的微动平台的内部结构。第一压电陶瓷驱动器7和第二压电陶瓷驱动器20相互垂直地放置在基座内部各自的圆柱形槽内,其一端由固定在基座1上的第一定位螺钉9、第二定位螺钉22固定,其另一端作为输出端,通过X、Y方向的放大机构和导向机构将运动传递给运动平台2,从而驱动运动平台2完成XY平面内的运动。X方向压电陶瓷驱动器7和Y方向压电陶瓷驱动器20的信号线通过压电陶瓷信号线槽15由压电陶瓷信号线出口44引出。X、Y方向位移传感器的信号电缆通过直线光栅电缆槽40引出,将运动平台2的位移信号反馈给计算机,实现微动平台的全闭环控制。图3为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的外形结构图,微动平台端盖45通过螺栓与基座1连接,微动平台端盖45中间有比运动平台2稍大的方孔,且间隙大于微动平台的最大位移。运动平台2位于整个微动平台的中部,微动平台通过微动平台固定孔43固定在某一平台上或其他装置上,使用方便。图4为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的机构原理图,从图中可以清楚的看出平台的运动原理。当第一压电陶瓷驱动器7通电工作时,第一位移输入杆10将第一压电陶瓷驱动器7的位移传递给Y方向的第一放大机构、第二放大机构,并经第一放大机构第一级放大杠杆6、第二放大机构第一级放大杠杆11和第一放大机构第二级放大杠杆4、第二放大机构第二级放大杠杆13的两级放大,将位移传递给导向机构第一根杆3和导向机构第二根杆14,带动运动平台2在Y方向内运动,完全对称且并联的第一放大机构、第二放大机构及导向机构,避免了运动平台2转动等寄生运动的产生,保证运动平台2在Y方向上运动的精度。当第二压电陶瓷驱动器20通电工作时,第二位移输入杆23将第二压电陶瓷驱动器20的位移传递给X方向的第二放大机构、第三放大机构,并经第三放大机构第一级放大杠杆19、第四放大机构第一级放大杠杆24和第三放大机构第二级放大杠杆17、第四放大机构第二级放大杠杆25的两级放大,将位移传递给导向机构第三根杆16和导向机构第四根杆27,带动运动平台2在X方向内运动,完全对称其并联的X方向放大机构和导向机构,避免了运动平台2转动等寄生运动的产生,保证运动平台2在X方向上运动的精度。并且当运动平台2在Y方向内运动时,带动导向机构第三根杆16、导向机构第四根杆27、导向机构第七根杆35和导向机构第八根杆42绕其支点小角度转动,当运动平台2在X方向内运动时,带动导向机构第一根杆3、导向机构第二根杆14、导向机构第五根杆28和导向机构第六根杆34绕其支点小角度转动,因此运动平台2在X、Y两个方向上的运动完全解耦,不会产生相互影响。根据需要选择单个压电陶瓷驱动器工作或者两个压电陶瓷驱动器同时工作,即可实现运动平台2在XY平面内的任意运动。图5为本发明提供的压电陶瓷驱动的二维并联微动平台的圆弧形柔性铰链结构图,由于圆弧形柔性铰链具有更高的运动精度,因此在本发明压电陶瓷驱动的二维并联微动平台中,所有的柔性铰链均采用圆弧形柔性铰链,并且所有的圆弧形柔性铰链结构和尺寸相同,柔性铰链圆弧半径r为1.2mm,铰链宽度t为0.6mm,铰链厚度w为20mm。本发明压电陶瓷驱动的二维并联微动平台在XY平面的具体工作过程如下:当只第一压电陶瓷驱动器7工作时,运动平台2在第一放大机构、第二放大机构和导向机构的作用下完成Y方向的运动;当只第二压电陶瓷驱动器20工作时,运动平台2在第三放大机构、第四放大机构和导向机构的作用下完成X方向的运动;当第一压电陶瓷驱动器7和第二压电陶瓷驱动器20同时工作时,运动平台2在XY平面内做平面运动。运动平台2两个侧面的直线光栅分别测量出平台在XY两个方向上的位移并反馈给计算机,从而实现微动平台的全闭环精密控制。上述虽然结合附图对本发明的具体实施方式进行了描述,但并非对本发明保护范围的限制,所属领域技术人员应该明白,在本发明的技术方案的基础上,本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本发明的保护范围以内。